製品情報

CIS/CIGS太陽電池R&D用クラスターツール
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  • 太陽電池・二次電池

メーカー Singulus Technologies AG

  • R&D用CIGSモジュール製作プラットフォームで300mm×300mmサイズまで対応可能
  • 1システムで様々なプロセスステーションを組み合わせることができます。

構成例

→ Central handling
→ Loading/unloading station
→ Sputtering unit Mo (Step 1) –
Cu, In, Ga (Step 3) – iZnO, AZO (Step 8)
→ Selenium deposition (Step 4)
→ Thermal treatment & selenization,
sulphurization (Step 5)
→ Laser scribing (Step 2, 7 and 9)
→ Buffer layer module (Step 6