製品情報

ディスクリートトラック/パターンドメディア高精度測定ツールDTP
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  • データストレージ

メーカー Advanced Surface Microscopy, Inc.

ASM社のDTPは DTMやBPMの形状・寸法などの精密測定によりメディア開発期間を大幅に短縮できる強力な測定ツールです

  • AFMやSEM画像をコンピュータ処理
  • 画像処理結果のデータをエクセルにエクスポート
  • ランド/グルーブ幅、ピッチ・ラインエッジ・ラフネスなどの自動解析と統計データ処理
  • 精密な絶対値を求めるためのキャリブレーション・スタンダードを用意
  • 光ディスクのランド/グルーブ/ピットパターン解析
  • DTM/BPM磁気ディスク媒体のトラック形状やビット形状の高精度解析

解析画像の一例

解析結果の一例

DTMのランド・グルーブ断面図

ランド・グルーブの品質を 感覚的に捉えることができる

DTMのランド・グルーブ断面図

ランド・グルーブの品質を 感覚的に捉えることができる

各トラック、各ポイント毎のランド幅の分布図

(上記とは別のサンプル)
1トラック内、及びトラック毎のランド幅のばらつきを表す

トラック幅の平均値、ライン・エッジ・ラフネスの測定

ライン・エッジ・ラフネスのサンプル画像全面の平均値

  Width2 at Middle (nm) Width at Bottom(nm) Left Edge Roughness
(nm RMS)
Right Edge Roughness
(nm RMS)
Count 1664 1664 26.00 26.00
Sum 45764.55 56087.90 12.31 13.16
Mean 27.50 33.71 0.47 0.51
Standard Deviation 0.80 0.93 0.04 0.06
Standard Error of Mean 0.02 0.02 0.01 0.02
Maximum 30.22 36.36 0.56 0.60
Minimum 24.66 30.77 0.38 0.40
Range 5.56 5.59 0.18 0.20

各トラック毎のライン・エッジ・ラフネス

File Track Number samples Left edge roughness
(nm RMS)
Right edge roughness
(nm RMS)
09p70_d18_CC_tif.asm 1664 1664 26.00 26.00
09p70_d18_CC_tif.asm 45764.55 56087.90 12.31 13.16
09p70_d18_CC_tif.asm 27.50 33.71 0.47 0.51
09p70_d18_CC_tif.asm 0.80 0.93 0.04 0.06
09p70_d18_CC_tif.asm 0.02 0.02 0.01 0.02
09p70_d18_CC_tif.asm 30.22 36.36 0.56 0.60
09p70_d18_CC_tif.asm 24.66 30.77 0.38 0.40
09p70_d18_CC_tif.asm 5.56 5.59 0.18 0.20

その他、センター・ライン・ラフネスの測定も可能