製品情報

CIGS太陽電池用蒸着装置
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  • 太陽電池・二次電池

メーカー Singulus Technologies AG

  • インライン高速蒸着装置
  • モジュラーチャンバー方式による柔軟な装置構成
  • 高い均一性と成膜速度
  • 様々な材料を共蒸着可能