製品情報

R&D向け小型真空ロールコーター FRC-100V
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  • 高機能フィルム

Vacuum Roll Coater for R&D FRC-100V

メーカー (株)富士アールアンドディー

  • FRC-100Vは研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能のマグネトロンスパッタ式ロールコーターです。
  • 樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能。使い勝手の良い制御系を搭載しています。
  • 太陽光発電、タッチパネルなどの分野では大量生産に有利と考えられるRoll to Roll式。開発・パイロット設備としてお使い頂けます。
  • アプリケーションとして透明導電膜、光学膜、及び金属膜用にITO、ZnO, SiO2、SiOx等の材料に対応可能です。

特 徴

・業界一の低価格
・所要面積は4m²と非常にコンパクト
・クリーンルーム内に設置可能

・シンプルでしかも高性能
 タッチパネル1面でほとんどの操作が可能
 走行パターン、スパッタ電源設定、ガス導
 入設定等が簡単に行えます。
 カソードを2セット装着。
 RF電極装備で表面改質も可能です。

・高性能な排気系
 メインポンプは大容量のTMPを装備
 水分はクライオスーパートラップにより
 高速で排気します。

・省エネ
 小型で余計なエネルギーは使いません。

標準構成

・真空槽
   SUS304製 ビューポート 3ヶ所
   防着板 2セット
・排気系
   RP 500L/min
   TMP1100L/s+CRYO 4000L/s(水)
   3ポジション ゲートバルブ
・走行系
   テンションコントロール
   速度可変サーボモータ
   冷却式キャンロール
   CW、CCW、裏・表巻き取り可
・スパッタ源
   DCマグネトロンカソード 2極
・前処理
   RFカソード 1極

  • ターゲット、防着板の交換は簡単に出来ます。
    冷却水の追い出し機構も装備しています。

  • RFプラズマ処理部
    正面の覗き窓よりプラズマの状態が確認できます。

  • RF電極でフィルムの表面をプラズマ処理します。
    表面の活性化等で付着強度UP

  • フィルムのセット
    メタルコアは3インチサイズ
    正面からのセットで作業性が良い

  • タッチパネル式操作盤
    一画面で走行、排気成膜が出来ます。
    フレキシブルな操作を
    お約束します。

■オプション

●フィルム用脱ガスヒーター
  赤外線ランプヒーター 500W
●コンダクタンスバルブによる圧力コントロール
●プロセスデーターストレージユニット
●最先端技術
パートナーの(株)サーフテックトランスナショナルとの協力の下、
下記のフラウンフォーファーFEPの最先端技術コンポーネントを搭載して頂く事が可能です。

・プラズマ発光検出式反応性スパッタプロセス制御システム
 -スペクトル方式(S-PCU)
 -光学フィルター方式(PCU)
 *反応性スパッタの膜質制御には不可欠です。

・矩形波パルス電源i-pulse(5kW)
 -バイポーラー、ユニポーラー(低温)
 *アーキング防止、高速化が可能になります。

・光学膜用スパッタカソードRM200
 -高速、低温(<80℃)、精密、安定 
 -i-pulseでマグネトロンPE-CVD(ハイブリッド膜)
 -強磁場(TCO用低電圧放電)も可能
 *フレキシブルエレクトロニクス製品開発に最適なカソードです。

型式 FRC-100V
到達圧力 10E-5Paオーダー
圧力測定 CCゲージ、キャパシタンスマノメーター
ワークサイズ 100mm巾×200m(50~100μ)
送り速度 0.2~4m/min(CW/CCW可能)
チャンバー SUS304製 500W×850H×450D
キャンロール φ250 水冷式
軸シール 磁気シールユニット
スパッタカソード
(DC)
70mm×200mm 2極
スパッタ電源 AE PNCL PLUS5/5
前処理用RFカソード 70mm×200mm マッチングBOX付
RF電源 RF 13.56MHz 500W
メインポンプ TMP 1100L/sec(N2)
水分排気 スーパートラップ(CRYO)
プロセスガス導入
各2系統
マスフローコントローラー O2、N2、Ar
冷却 水冷式 キャンロールはチラー冷却
専有面積 4m²(チラーは含みません)
所要電源 200V 100A