製品情報

超低温冷却装置 NeoCold
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  • 高機能フィルム
  • FPD・ガラス基板
  • 太陽電池・二次電池
  • データストレージ

メーカー 新明和工業㈱

  • オゾン破壊係数が"0"の冷媒のみを使用した国内初の超低温冷却装置
  • クライオコイル冷却装置として使用することにより、チャンバ内の水蒸気を捕捉し、真空排気速度を向上

[主な用途]

真空環境の真空度向上
真空環境の真空排気速度向上
水分除去による真空環境の改善