製品情報

スパッタ装置ROTARIS
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  • 半導体・電子部品
  • データストレージ

メーカー Singulus Technologies AG

  • 独自技術のRotating Substrate Module (RSM) を用い、最大12個のカソードを装着でき、 100mmφのカソードで、200mmφウェハに均一な成膜が可能
  • 共スパッタ、DC、RFスパッタの併用など、様々スパッタリングプロセスを一つのシステムで実現
  • 半導体薄膜、磁性薄膜などの極薄膜を制御可能
  • 応用分野
    HDD:TFH (Reader/Writer)
    MRAM / STT-RAM / P-MTJ
    Sensors xMR
    Bio sensor
    MEMS