製品情報

モジュラー式インラインARコーティングシステム SINGULAR
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  • 太陽電池・二次電池

メーカー Singulus Technologies AG

  • ICP-PRCVD方式を用いた、高密度・低ダメージ成膜システム
  • SiNx、AlOx および積層膜に対応
  • 優れた均一性を高い成膜速度で実現
  • PERCセルパッシベーション膜にも適用可能