製品情報

MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS
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  • 半導体・電子部品
  • データストレージ

メーカー Singulus Technologies AG

超薄膜での優れた膜質、膜厚分布特性

  • Ø150/200/300mmウェハ対応ブリッジツールコンセプト
  • 1デポジションモジュールに10カソード
  • 直線動作中にデポを行うリニアダイナミックデポジション方式
  • 10カソードに対してDC,パルスDC,RFスパッタ
  • リアクティブスパッタ機能搭載
  • TMRアプリケーション用表面処理/酸化モジュール