製品情報

真空ポンプOH
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  • 半導体・電子部品
  • FPD・ガラス基板
  • 太陽電池・二次電池
  • データストレージ
  • 低価格 短納期で対応
  • 代替ポンプ貸出可能
  • 1年保証
  • 装置からの脱着対応します

【取扱い真空ポンプ】

●ドライポンプ:荏 A AAシリーズ

●クライオポンプ:アネルバ CAPシリーズ
                       CTI Onboadシリーズ

【クライオ消耗品】

クライオコンプレッサー内部にはHeガスの精製のためにフィルタータンクが入ってます。
通常、新品に交換しますが安価ではございません。
そこで弊社ではフィルタータックの外側のハウジングは
そのまま使用し内部のフィルターのみ交換する再生業務を行っております。
(納期・7日間)