製品情報

多目的スパッタリング装置 VISTARIS
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  • 太陽電池・二次電池

メーカー Singulus Technologies AG

  • バーチカル搬送方式によるコンパクトなデザイン
  • すべての材料をロータリーカソードにより提供可能
  • モジュラープロセスチャンバーによるフレキシブルな装置構成