製品情報

ウエハー表面パーティクルカウンター
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  • 半導体・電子部品

メーカー ㈱トプコンテクノハウス

  • 世界初Violet LD搭載で、飛躍的なランニングコストの低減を達成。
  • 多様なウェーハサイズに対応。(50mm~200mm)
  • 高性能、低価格、簡単操作、省スペース
  • リアルカウント処理で更に確度を上げたパーティクル情報を提供。
  • 省フットスペース

主な仕様

光源 Violet-LD
検出/走査方式 螺旋走査方式
検出感度 Bare 80nm
再現性 σ/X ≦1%(99%以上)
ウェーハサイズ 50mm~200mm
測定対象 Bareウェーハ/膜付きウェーハ
大きさ(mm) 860(W)×900(D)×1,650(H)
質量(kg) 600