製品情報

ウエハー表面パーティクルカウンター(パーティクル管理の入門機)
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  • 半導体・電子部品
  • 高機能フィルム
  • FPD・ガラス基板
 

メーカー ㈱山梨技術工房

 

YPI-200 入門機

ワークサイズ
最大200×200mm
スキャン方式
センサーをX-Yスキャン
測定時間
200口を約8分
ワーク設置
マニュアル
本体外形寸法
W850×D620×H380
本体重量
約70Kg
消費電力
約1.5kW(100V)

● 卓上型、100V接続のみ
●わずらわしい操作無しで検査可
●オフライン検査に最適
●センサーユニットは他機種と同等最小検出粒子径0.152μm
●PCでのレシピ管理もOK

YPI-200a 自動検査で省力+クリーン

ワークサイズ
最大φ200mm
スキャン方式
ワーク回転+センサースキャン
測定時間
φ200を約1分
ワーク設置
ロボットによる自動搬送
本体外形寸法
W1,320×D1,000×H1,700
本体重量
約500Kg
電力/エア/VAC
1.5kW/0.5MPa/-80kPa

●自動検査装置の標準機としての必要機能完備(PC組込)
    レシピ/データ管理ユーザ階層設定可能各種センサーでトラブル予防
●付着パーティクルフリーの検査環境ロボット搬送/ULPAフィルタ設置

YPI-500 500mm□基板まで対応

ワークサイズ
最大500×500mm
スキャン方式
センサーをX-Y-Zスキャン
測定時間
200口を約4分
ワーク設置
マニュアル
本体外形寸法
W1,150×D1,050×H920
本体重量
約200Kg
消費電力
約1.5kW(100V)

●ガラスからフィルムまで各種大型基板の測定をサポートフリーサイズ大型基板ホルダ
●基板中央の弛み対応両端クランプ+引張り機構センサ自動焦点機構搭載

デモ基板によるサンプル評価は常時受付中!
お気軽にお申し付け下さい

●測定対象基板として、以下の実績があります。
    シリコンウエハ(+熱酸化膜)
    化合物半導体基板
    ガラス基板
    サファイア基板
    各種フィルム
    上記対象基板上に成膜した基板
    (成膜:スパッタ・CVD・蒸着等)
●上記以外の基板もぜひお問い合わせ下さい。
●標準機のカスタマイズも行います。多様な実績がありますのでご相談下さい。

YPI-200
入門機

YPI-200a
自動検査で省力+クリーン

YPI-500
500mm□基板まで対応