Singulus Technologies社のDVD9,5,10対応のレプリケーションライン

• 成形機からのディスク冷却機構から製膜、ボンディング、UV照射、検査機構までのすべてプロセスをコンパクトにした製造ライン
• クローズドループにて製膜した膜厚を制御するTMD機構装備
• 高生産性及び高稼働時間