ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX

多々ある導入実績の内、太陽電池および医療技術分野におけるウェットプロセス表面処理の要件に関して、SINGULUS TECHNOLOGIESは、個々の顧客アプリケーションのプロセス保証付きで、信頼性が高く市場で実績のあるウェットプロセスシステムを提供しています。 SINGULUS TECHNOLOGIESは、高効率太陽電池および 医療用アプリケーションのウェットプロセス処理向けに、完全自動化されたドライイン/ドライアウトソリューションを提供しています。

SINGULUS TECHNOLOGIES社は、標準および高効率セルライン でのSiウェーハのWet処理の為に完全に自動化されたドライイン/ドライアウト ソリューション としてのSILEX II CLEANTEXを提供します。 効率的な洗浄ステップは、セルの効率を改善し、運用コストを削減する為に不可欠な要件です。

SILEX IIウェットベンチに適用されるオゾンベースの洗浄機能は、効率的な有機物と金属の除去並びに適切な表面調整を組み合わせたものです。 化学薬品のコストと消費量が少ないため、プロセスが簡単です制御と高い金属除去効率を備えた オゾン化洗浄槽は、ソーラーおよび半導体業界で知られている従来の高価なマルチステップRCA洗浄に対しての完全な代替となります。