1991年4月

資本金400万円で法人登記

1991年4月
1991年10月

（株）荏原製作所藤沢工場内に同社関連企業として営業開始
主にスパッタ装置のメンテナンス業務とハードディスクドライブ関連の輸 入計測器の販売業務を行う資本金1000万円に増資

1991年10月
1994年4月

荏原グループより独立し、東京都港区新橋に移転

1994年4月
1996年1月

SingulusTechnologies社と業務提携
光ディスク製造用スパッタ装置の輸入販売およびメンテナンスを開始

1996年1月
1997年3月

東京都より助成金を受け、CSS/RWアナライザーを開発

1997年3月
2001年1月

光ディスク原盤洗浄機を開発

2001年1月
2002年4月

研磨用スラリー製造事業を開始

2002年4月
2002年11月

（株）イーメディアと業務提携
業務用ソフトの販売事業に進出

2002年11月
2002年12月

騒音測定機を開発、第1号機を納入

2002年12月
2003年1月

磁気ヘッド用研磨装置を製造開始

2003年1月
2003年3月

東京都から創造法認定企業の承認を受ける

2003年3月
2003年7月

騒音測定機に対して東京都市場開拓支援助成事業助成金交付決定を受ける

2003年7月
2004年7月

研磨機開発に対して東京都中小企業新製品・新技術開発助成金交付決定を受ける

2004年7月
2007年3月

各種ウェットプロセス装置の設計・製造・販売を開始

2007年3月
2007年12月

山形県米沢市に米沢テクニカルセンタ設立

2007年12月
2008年7月

米国FlexstarTechnology Incと業務提携
（HDDテスターの販売・メンテナンス）

2008年7月
2009年7月

独Dr.SchenkGmbHと業務提携
(光ディスク、ソーラーパネル用テスターの販売・メンテナンス)

2009年7月
2010年4月

千代田区内幸町に移転

2010年4月
2010年6月

山梨県都留市に山梨テクニカルセンタをオープン

2010年6月
2015年3月

中央区京橋に移転

2015年3月
2016年3月

中央区京橋に実験用デモルームを設立

2016年3月
2018年2月

現住所（神奈川県藤沢市）に本社とモデルルームを移転、同時に倉庫も市内に移転

2018年2月
2021年2月

ユーロプラズマ社と業務提携日本国内総販売元となる

2021年2月