• FRC-100Vは研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能のマグネトロンスパッタ式ロールコーターです。
• 樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能。使い勝手の良い制御系を搭載しています。
• 太陽光発電、タッチパネルなどの分野では大量生産に有利と考えられるRoll to Roll式。開発・パイロット設備としてお使い頂けます。
• アプリケーションとして透明導電膜、光学膜、及び金属膜用にITO、ZnO, SiO2、SiOx等の材料に対応可能です。

＜特　徴＞

• 業界一の低価格
• 所要面積は4m²と非常にコンパクト
• クリーンルーム内に設置可能
• シンプルでしかも高性能
  ・タッチパネル1面でほとんどの操作が可能
  ・走行パターン、スパッタ電源設定、ガス導
  ・入設定等が簡単に行えます
  ・カソードを2セット装着
  ・RF電極装備で表面改質も可能です
• 高性能な排気系
  ・メインポンプは大容量のTMPを装備
  ・水分はクライオスーパートラップにより高速で排気します
• 省エネ
  小型で余計なエネルギーは使いません

＜標準構成＞

• 真空槽
  SUS304製　ビューポート　3ヶ所
  着板　2セット
• 排気系
  RP　500L/min
  TMP1100L/s＋CRYO 4000L/s（水）
  3ポジション　ゲートバルブ
• 走行系
  テンションコントロール
  速度可変サーボモータ
  冷却式キャンロール
  CW、CCW、裏・表巻き取り可
• スパッタ源
  DCマグネトロンカソード　2極
• 前処理
  RFカソード　1極

＜オプション＞

• フィルム用脱ガスヒーター
  赤外線ランプヒーター　500W
• コンダクタンスバルブによる圧力コントロール
• プロセスデーターストレージユニット
• 最先端技術
  パートナーの（株）サーフテックトランスナショナルとの協力の下、下記のフラウンフォーファーFEPの最先端技術コンポーネントを搭載して頂く事が可能です。
  ・プラズマ発光検出式反応性スパッタプロセス制御システム
  　－スペクトル方式（S-PCU）
  　－光学フィルター方式（PCU）
  　＊反応性スパッタの膜質制御には不可欠です。
  ・矩形波パルス電源i-pulse（5kW）
  　－バイポーラー、ユニポーラー（低温）
  　＊アーキング防止、高速化が可能になります。
  ・光学膜用スパッタカソードRM200
  　－高速、低温（＜80℃）、精密、安定　
  　－i-pulseでマグネトロンPE-CVD（ハイブリッド膜）
  　－強磁場（TCO用低電圧放電）も可能
  　＊フレキシブルエレクトロニクス製品開発に最適なカソードです。