多々ある導入実績の内、GENERIS PECVDシステムは、最先端の結晶シリコン太陽電池の量産における特別なニーズに対応するよう設計されたモジュール式水平インライン装置です。 例えば、パッシベーションエミッタおよび背面セル（PERC/PERT）やパッシベーションコンタクト付き セル（例：TopCon、POLO）など、最高効率の太陽電池の量産に対応します。

PERC太陽電池は両面に誘電体パッシベーション層がコーティングされています。裏面のパッシベーションは、水素リッチシリコンナイトライド（SiNx:H）で覆われた薄い酸化アルミニウム（AlOx）層の蒸着によって実現されます。前面では、SiNx:H層がパッシベーションと反射防止コーティング（ARC）の両方の役割を果たします。このシステムは、高いスループット、高い稼働率、短いクリーニング中断時間、および原材料の最大限の活用により、コスト効率の高い大量生産に最適です。 プロセス全体を通して基板温度は完全に制御され、PERCセルでは350℃前後の温度で最適な層性能を実現します。

熱特性は、他の層スタックや用途に合わせて幅広い範囲で適応させることができます。 SINGULUS TECHNOLOGIESのキャリアは、ラップアラウンドをほぼゼロに抑えた片面成膜が可能です。 GENERIS PECVDは、真空中断することなくウェハの両面に成膜することができます。AlOxとSiNxの両プロセスは、ガス分離チャンバーを使用することで、1つの共通システムで実現できます。