太陽電池用ウェットプロセス装置 SILEX Ⅱ CLEANTEX

SINGULUS TECHNOLOGIES社は、標準および高効率セルライン でのSiウェーハのWet処理の為に完全に自動化されたドライイン/ドライアウト ソリューション としてのSILEX II CLEANTEXを提供します。

効率的な洗浄ステップは、セルの効率を改善し、運用コストを削減する為に不可欠な要件です。 SILEX IIウェットベンチに適用されるオゾンベースの洗浄機能は、効率的な有機物と金属の除去 並びに適切な表面調整を組み合わせたものです。

化学薬品のコストと消費量が少ないため、プロセスが簡単です制御と高い金属除去効率を備えた オゾン化洗浄槽は、ソーラーおよび半導体業界で知られている従来の高価なマルチステップRCA洗浄に対しての完全な代替となります。