超薄膜での優れた膜質、膜厚分布特性

• Ø150/200/300mmウェハ対応ブリッジツールコンセプト
• 1デポジションモジュールに10カソード
• 直線動作中にデポを行うリニアダイナミックデポジション方式
• 10カソードに対してDC,パルスDC,RFスパッタ
• リアクティブスパッタ機能搭載
• TMRアプリケーション用表面処理/酸化モジュール