光ディスク用外観検査装置
メーカーDr. Schenk GmbH
- ISM.blue+(BD用)
- ISM.dvd (DVD用)
- ISM.cd (CD用)
- ISM.sub (サブストレート用)
- ISM.dye (Dye用)
- PROmeteus MT-200.blue
(オフラインタイプ)
製品特徴
- 高スループット検査技術
- 高精度検査技術
- ディスク全面の中間層を表示
- 特殊なチャンネルを用いたエッジ欠陥検出
- レプリケーションラインへの容易な組込
製測定項目
- チルト(反り)検査
- 中間層厚み検査
- カバー層厚み検査
- カバー層+中間層厚み検査
- カバー層欠陥
- 成膜欠陥
- 反射率
バーコード
BCAコードとリーダー