ウエハー表面
パーティクルカウンター
メーカータカノ株式会社
- 世界初Violet LD搭載で、飛躍的なランニングコストの低減を達成。
- 多様なウェーハサイズに対応。（50mm～200mm）
- 高性能、低価格、簡単操作、省スペース
- リアルカウント処理で更に確度を上げたパーティクル情報を提供。
- 省フットスペース
主な仕様
| 光源 | Violet-LD |
| 検出/走査方式 | 螺旋走査方式 |
| 検出感度 | Bare 80nm |
| 再現性 | σ/X ≦1%（99%以上） |
| ウェーハサイズ | 50mm～200mm |
| 測定対象 | Bareウェーハ/膜付きウェーハ |
| 大きさ（mm） | 860(W)×900(D)×1,650(H) |
| 質量（kg） | 600 |