ウエハー表面
パーティクルカウンター

メーカータカノ株式会社

  • 世界初Violet LD搭載で、飛躍的なランニングコストの低減を達成。
  • 多様なウェーハサイズに対応。(50mm~200mm)
  • 高性能、低価格、簡単操作、省スペース
  • リアルカウント処理で更に確度を上げたパーティクル情報を提供。
  • 省フットスペース
主な仕様
光源Violet-LD
検出/走査方式螺旋走査方式
検出感度Bare 80nm
再現性σ/X ≦1%(99%以上)
ウェーハサイズ50mm~200mm
測定対象Bareウェーハ/膜付きウェーハ
大きさ(mm)860(W)×900(D)×1,650(H)
質量(kg)600

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