表面加工(シート材)装置一覧
ここにないものも弊社にて特注品として設計、製造をしております。
詳しくは 特注・カスタム対応 をご確認下さい。
シート材への表面加工装置
PVD成膜装置 GENERIS PVD
安定した成膜プロセスに対応するPVDスパッタリング装置
太陽光発電をはじめデータストレージ・センサー技術・装飾コーティング分野で使用されるほか、水素・バッテリー・自動車・電気シールドなど多様な先端分野に対応する高性能成膜装置です。
太陽光発電ではTCOや金属材料の成膜に対応し、両面スパッタリングや高精度な温度制御により高品質・高スループットを実現します。
低所有コストと高稼働率を両立した量産対応プラットフォームです。
PECVD成膜装置 GENERIS PECVD
高効率セル製造ライン向けのモジュール式PECVD装置
ICPおよびCCPプラズマ源を採用したモジュラー式水平インライン成膜装置です。
低ダメージかつ高成膜速度を実現し、PERC、TOPCon、HJTなど高効率結晶シリコン太陽電池や、GaAs多接合太陽電池の高品質機能層形成に対応しております。
広いプロセスウィンドウと量産適性を備え、宇宙用途を含む先端PV製造に最適です。
プラズマ利用の表面改質装置(真空)
メーカー：Europlasma
高機能ナノコーティング対応 真空プラズマ処理装置
真空中で高密度プラズマを生成し、質感を保ったまま均一な表面改質を実現します。
電子部品・医療機器・不織布など多様な基材に対応し、
強力な撥水・防湿性や親水性、密着性向上を付与します。
環境に配慮したハロゲンフリー技術で、ロール材から立体物まで高品質な処理を
可能にします。
プラズマ利用の表面改質装置(大気圧)
メーカー：CPI
大気圧プラズマで基材表面を安定処理する Roll to Roll表面改質システム
大気圧プラズマを用いたRoll to Roll式の表面改質システムです。
プラズマ反応を利用したグラフト処理とAPP-ECVDコーティング処理により、
基材の表面エネルギーや密着性の安定した調整が可能となります。
ポリマーフィルムをはじめ幅広い基材に対応し、生産ラインへの組込みも可能なため、
連続処理による効率的な表面機能化を実現します。
医療用途向けMEDLINEウェット加工システム
均一洗浄と低薬液消費で生産効率を高めるウェット処理装置
医療用途向けウェットプロセス装置です。
均一な洗浄性能と低薬液消費を特長とし、高い生産効率を実現します。
用途としては研究開発用途向けの手動装置式ウェット加工ツールから、要求の厳しい技術における大量量産向けの完全自動化プラットフォームまで多岐にわたります。
完全自動化されたドライイン／ドライアウト方式により、各アプリケーションに最適化された信頼性の高い湿式表面処理を提供します。